近日,美國(guó)應(yīng)用材料公司宣布推出AppliedCentrisAdvantEdgeMesa刻蝕系統(tǒng)，它是面向世界上最先進(jìn)的存儲(chǔ)和邏輯芯片批量生產(chǎn)而推出的智能化程度最高、速度最快的硅刻蝕系統(tǒng)，試圖開啟芯片制造的新紀(jì)元。
據(jù)介紹,其結(jié)構(gòu)緊湊的Centris系統(tǒng)以前所未有的方式裝配了8個(gè)反應(yīng)腔，即6個(gè)刻蝕反應(yīng)腔和2個(gè)刻蝕后清潔腔，每小時(shí)可處理多達(dá)180片硅片，最多可將單片硅片的制造成本降低30%。擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的系統(tǒng)智能軟件確保每個(gè)反應(yīng)腔的每個(gè)工藝流程精確匹配，滿足了實(shí)現(xiàn)未來(lái)高度復(fù)雜芯片高良率生產(chǎn)的關(guān)鍵要求。
“全新Centris主機(jī)平臺(tái)的推出將徹底轉(zhuǎn)變半導(dǎo)體行業(yè)增長(zhǎng)最快的硅刻蝕領(lǐng)域格局。先進(jìn)微芯片極其微小的集成電路需要越來(lái)越多的關(guān)鍵刻蝕步驟，”應(yīng)用材料公司副總裁兼刻蝕事業(yè)部總經(jīng)理EllieYieh表示，“全新Centris平臺(tái)和世界一流的AdvantEdgeMesa技術(shù)的結(jié)合是一個(gè)很好的典范，體現(xiàn)了我們以客戶為導(dǎo)向的創(chuàng)新產(chǎn)品如何幫助公司在刻蝕市場(chǎng)的多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域取得快速發(fā)展�！�
業(yè)內(nèi)專家指出,該刻蝕系統(tǒng)同樣為綠色工藝開辟了一條新的道路。和市場(chǎng)上現(xiàn)有的硅刻蝕系統(tǒng)相比，該系統(tǒng)每年減少的耗電量、耗水量和耗氣量相當(dāng)于減排60萬(wàn)磅二氧化碳,可幫助芯片廠商降低運(yùn)營(yíng)成本，支持他們可持續(xù)的生產(chǎn)規(guī)劃。(中國(guó)工業(yè)報(bào)) |
